Solução baseada no FPOR
O FPOR fornece uma técnica precisa para medir a permissividade complexa de películas dielétricas na faixa de frequência de 110 GHz a 170 GHz com uma resolução de 1,5 GHz. Além da jiga de teste FPOR, um analisador de redes vetoriais (VNA) R&S®ZNA26 com duas portas e um computador são necessários para a medição, que é automática, rápida e fácil de executar. Na banda D, um adaptador de guia de ondas também é necessário para conectar os dois conversores de ondas milimétricas R&S®ZC170 ao FPOR com acoplamento coaxial.
A caracterização do material em teste (MUT) é realizada no FPOR em modos Gaussianos ímpares consecutivos, denotados como TEM0,0,q, na qual o «q» é uma ordem de modo longitudinal. Normalmente, o material em teste está localizado exatamente no meio do ressonador em uma cintura do feixe gaussiano no máximo do campo elétrico. O material é inserido no FPOR em um suporte específico de amostra feito de policarbonato com uma abertura circular no meio (diâmetro externo < 50 mm). Se a amostra se encaixar no FPOR, a medição não será destrutiva e não será necessária nenhuma preparação especial do material a ser testado.
Os dados brutos de medição, em particular as alterações na frequência de ressonância e o fator Q correspondente devido à inserção do material, são apresentados na constante dielétrica (Dk) e no fator de dissipação (Df), respectivamente. Para a Dk, as tabelas de consulta de frequência de ressonância em função da espessura e da constante dielétrica do material são calculadas durante um estágio de pré-processamento usando um modelo eletromagnético (EM) da FPOR.
Depois que a Dk do material é avaliada, o Df correspondente é calculado usando a seguinte fórmula: