Solución basada en FPOR
El FPOR facilita un método preciso para medir la permitividad compleja de películas dieléctricas en el rango de frecuencias entre 110 GHz y 170 GHz con una resolución de 1,5 GHz. Para la medida se necesita, además del elemento de fijación de FPOR, un analizador de redes vectoriales (VNA) R&S®ZNA26 con dos puertos y un PC. La medida se realiza de forma automática, rápida y sencilla. En la banda D se necesita también un adaptador de guía de ondas para conectar los dos convertidores de ondas milimétricas R&S®ZC170 al FPOR acoplado por cable coaxial.
La caracterización del material examinado se lleva a cabo en el FPOR en modos de gaussianos impares consecutivos, indicados como TEM0,0,q, donde q es un orden de modo longitudinal. El material examinado se posiciona generalmente exactamente en el centro del resonador en una cintura de haz gaussiano en el máximo del campo eléctrico. El material examinado se inserta en el FPOR sobre un soporte de muestras de policarbonato especial con una abertura circular en el centro (diámetro exterior < 50 mm). Si la muestra cabe en el FPOR, la medida se puede realizar sin destrucción y no se necesita más preparación del material.
Los datos en bruto de la medida, en particular los cambios en la frecuencia de resonancia y el factor Q correspondiente derivado de la inserción del material, se convierten a constante dieléctrica (Dk) y factor de disipación (Df), respectivamente. Para el valor Dk se calculan durante una fase de preprocesamiento tablas de búsqueda de la frecuencia de resonancia como función del grosor y Dk del material utilizando un modelo electromagnético (EM) del FPOR.
Una vez que se ha evaluado el Dk del material se calcula el valor Df correspondiente utilizando la siguiente fórmula: