MPI 프로브 스테이션에서 110 GHz까지 지원하는 차동 RF 온웨이퍼 측정

목표

5G, 6G 및 밀리미터파 구성요소의 개발, 검증, 생산 과정에서는 웨이퍼 상태 소자의 전기적 특성을 측정하는 것이 매우 중요합니다. 이러한 측정은 통신, 국방, 우주 분야의 기술 발전에 필수적입니다.

증폭기, 믹서 및 라인은 나중에 모듈 및 제품에 통합하기 위해 반드시 정밀 특성 분석을 수행해야 합니다. 또한 생산 과정에서 최대 처리량을 확보하기 위해서는 정밀하고 빠른 온웨이퍼 샘플 테스트가 필요합니다.

로데슈바르즈 솔루션

R&S®ZNA67EXT VNA(벡터 네트워크 분석기)는 최대 110 GHz까지 온웨이퍼 차동 측정의 과제를 해결할 수 있도록 포괄적인 싱글 스윕 솔루션을 제공합니다.

이 측정 셋업은 R&S®ZNA67 본체와 외부 주파수 변환기를 결합하여 최대 110 GHz까지 정밀하고 반복 가능한 측정을 지원합니다.

이 측정 셋업의 핵심적인 이점은 MPI Corporation의 프로브 스테이션과 기계적으로 통합되었다는 점입니다. 주파수 변환기가 측면에 장착되어 변환기와 RF 프로브 간 거리를 최소화합니다. 이 설계는 케이블 굽힘과 신호 경로 길이를 줄여 기계적 안정성과 전반적 RF 성능을 개선합니다.

이 셋업은 가상 및 실제 차동 구성을 모두 지원하여 다양한 피시험 장치(DUT) 시나리오에서 유연성을 제공합니다. 이 VNA 아키텍처는 다수의 위상 동기화 소스와 동시 측정 수신기를 탑재하여 전체 밀리미터파 대역에서 정확한 멀티포트 및 실제 차동 혼합 모드 S-파라미터 분석을 지원합니다.

RF 프로빙 통합 및 안정성

이 셋업은 수동 및 자동화 구성으로 제공되는 MPI 고성능 프로브 스테이션이 통합되어 있으며 안정적인 프로빙을 위해 써멀 척 옵션과 진동 차단 기능을 갖추고 있습니다. 특히 이 셋업은 RF 인터페이스가 GSGSG 구성으로 MPI의 mmWave Dual TITAN™ 프로브를 사용하며 최대 120 GHz까지의 차동 측정에 최적화되어 있습니다. 이 프로브는 밀리미터파 대역에서 뛰어난 수명, 반사 손실, 삽입 손실, 포트 간 절연을 제공하며 정밀한 패드 접촉을 위한 팁 가시성도 최적화되어 있습니다.

MPI는 반복성과 위상 안정성을 확보하기 위해 주파수 확장기를 프로브 스테이션에 안정적으로 장착할 수 있는 전용 기계식 통합 고정 장치를 개발했습니다. 이 고정 장치는 케이블의 굽힘과 움직임을 최소화하고 케이블 경로를 일정하게 유지하며 RF 신호 경로를 단축합니다. 그 결과, 지향성이 향상되고 손실이 감소하며 반복적인 접촉에도 매우 안정적인 측정이 가능합니다. MPI의 독자적인 RF 프로브 암 내장형 기계적 피드스루는 프로브 위치 정확도에 영향을 주지 않으면서 빛이 차단된 측정을 보장합니다.

보정은 GSGSG 구성에 맞춰 설계되고 프로브의 피치에 맞춘 MPI TCS 듀얼 보정 기판을 사용하여 수행됩니다.

MPI TCS 제품군은 최신 기술 성과와 웨이퍼 수준 RF 보정에 관한 권장 기법을 구현하기 위해 설계된 차세대 보정 기판입니다. 독자적인 피어 종단 기준으로 110 GHz를 초과하는 주파수에서도 뛰어난 보정 정확도를 달성할 수 있게 되었습니다.

MPI QAlibria® 및 SENTIO® 소프트웨어는 프로브 팁뿐만 아니라 온웨이퍼 보정 기준 및 넓은 온도 범위에서도 빠르고 정확하며 신뢰성 있는 완전 자동 보정을 지원합니다.

요약

이 셋업은 최첨단 RF 성능과 스마트한 기계적 통합, 그리고 고급 보정 도구를 결합하여 복잡한 밀리미터파 테스트를 신뢰할 수 있고 효율적인 워크플로우로 간소화합니다.

이를 통해 셋업 복잡도를 최고화하고 측정 신뢰성을 극대화하여 고주파 및 고정밀 애플리케이션을 지원합니다.

R&S®ZNA67EXT와 MPI Corporation의 프로브 스테이션은 최대 110 GHz까지 차동 온웨이퍼 측정을 위해 견고하고 정밀한 솔루션을 제공하며 첨단 반도체 테스트 및 특성 분석의 엄격한 요구사항을 충족합니다.

MPI Corporation는 반도체 및 포토닉스 테스트 솔루션 분야의 글로벌 리더로, RF, 포토닉스, 전력 소자 등 핵심 산업에서 사용하는 첨단 프로브 시스템, 프로브 카드 및 열 테스트 솔루션을 전문적으로 생산하는 기업입니다.