온웨이퍼 테스트

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웨이퍼 및 다이 테스트

온웨이퍼 및 다이 테스트를 위한 RF 프로빙

오늘날 유선 또는 무선 연결이 없는 세상은 상상할 수 없습니다. 이러한 연결은 칩, 특히 RF 칩을 통해 이루어집니다. RF 칩이 지원하는 기능과 주파수 대역은 계속해서 증가하고 있습니다. 복잡한 RF 칩에는 다른 기능과 반도체 기술이 SIP(System in Package)로 탑재되는 경우가 많습니다.

각 소자와 반도체의 기능을 검증할 때에는 많은 비용이 소요되는 통합 및 패키징 전에 개별 기능 블록을 검증하기 위한 테스트를 먼저 수행합니다. 생산 과정에서는 웨이퍼 또는 다이에 대한 초기 테스트를 진행합니다.

로데슈바르즈는 빠르고 정확한 웨이퍼 및 다이 테스트를 보장하는 첨단 기기를 제공합니다. 로데슈바르즈는 또한 정교한 RF 프로빙을 위해 선도적 프로브 스테이션 전문기업과 협업하고 있습니다.

온웨이퍼 테스트 과제

제품 설계, 검증, 생산의 각 단계에서 프로브 스테이션을 이용한 RF 프로빙을 적용합니다. 모든 경우에 테스트 기기와 프로빙의 통합이 필수입니다.

다음에 제시된 작업은 개발 및 설계 검증에 적용됩니다.

  • 수동 또는 반자동 프로브 스테이션에서 웨이퍼의 유연한 검증
  • S 파라미터 및 미래 RF 측정을 위한 특수 벡터 교정
  • 밀리미터파 및 THz 애플리케이션에서 손실을 피하기 위해 프로버에 주파수 변환기 또는 RF 프론트엔드를 통합
  • 능동 소자를 위한 RF와 DC의 결합

액티브 컴포넌트는 최종 설계 시 적용되는 것과 같은 냉각을 이용할 수 없으므로 특별한 주의가 필요합니다.

생산 시:

  • 프로브 스테이션과 테스트 계측기 간 동기화된 상호작용을 통한 빠른 검증
  • 멀티사이트 프로빙을 통한 동시 테스트와 크로스토크 방지를 위한 주파수 오프셋
  • 장치 손상을 방지하기 위한 터치다운 감소

온웨이퍼 테스트를 위한 고성능 솔루션

로데슈바르즈는 개발부터 생산에 이르는 전 단계의 온웨이퍼 테스트를 위한 솔루션을 제공합니다.

로데슈바르즈의 포트폴리오를 검색하고 다음 제품에 대해 알아보십시오.

  • 성능 벡터 네트워크 분석기 R&S®ZNA: 웨이퍼 및 다이 수준에서 액티브 및 패시브 컴포넌트를 검증하는 데 필요한 모든 기능 제공
  • R&S®ZC 제품군 내 밀리미터파 컨버터: 테라헤르츠 주파수 연구를 위한 최대 1.1 THz까지 확장 주파수 범위 제공
  • 멀티포트 벡터 네트워크 분석기 R&S®ZNBT: 최대 24개 포트를 이용한 동시 테스트로 속도 최적화, 양산에 적합
  • 외부 프론트엔드 R&S®FE170: 프로브 옆 웨이퍼 변조 테스트를 위한 Wideband 업컨버전과 프로브 스테이션 내 컴팩트한 통합

로데슈바르즈는 프로빙은 물론 Load-pull 임피던스 매칭을 위한 포괄적 솔루션을 개발하기 위해 파트너사와 협업하고 있습니다.

  • 온웨이퍼 및 다이 테스트를 위한 프로빙: 로데슈바르즈 벡터 네트워크 분석기를 MPI Corporation 및 FormFactor의 프로브 시스템과 통합 MPI QAlibria® RF 교정 소프트웨어 및 Formfactor RF 계측 교정 소프트웨어 WinCal은 R&S의 다양한 벡터 네트워크 분석기를 지원합니다.
  • Load-pull 및 임피던스 매칭: Maury Microwave 및 Focus Microwaves의 튜너 사용
  • 모든 경우에 로데슈바르즈의 하이엔드 벡터 네트워크 분석기 R&S ZNA와 다른 장비는 파트너사가 제공하는 온웨이퍼 및 Load-pull 시스템용 시스템 소프트웨어에 완벽히 통합되며 지원됩니다.

파트너사

MPI Corporation
FormFactor
Maury Microwave
Focus Microwaves

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온웨이퍼 테스트 솔루션의 이점

로데슈바르즈 온웨이퍼 테스트 솔루션은 사용자 친화적인 작동 방식과 안정적인 교정으로 원활히 사용할 수 있습니다. 로데슈바르즈의 유연한 접근 방식을 통해 특정 테스트 요구사항에 따른 셋업이 가능하므로 최적의 성능과 효율성을 보장합니다.

다음과 같은 이점이 있습니다.

  • 다양한 옵션: 패시브 컴포넌트를 위한 4개 이상의 병렬 포트를 탑재하여 비용 최적화를 구현한 벡터 네트워크 분석기와 액티브 컴포넌트에 대응하는 최대 1.1 THz까지 주파수 커버리지를 실현한 퍼포먼스 벡터 네트워크 분석기를 제공합니다.
  • 간편한 작동: 로데슈바르즈 벡터 네트워크 분석기는 온웨이퍼 및 Load-pull 테스트에 사용되는 시스템 수준 소프트웨어에 통합됩니다.
  • 시스템 수준 교정: 안정적 테스트 결과를 보장하기 위해 로데슈바르즈 벡터 네트워크 분석기 또는 파트너사 소프트웨어에서 직접 처리합니다.
  • 유연성: 선도적인 프로브 및 Load-pull 파트너사와 단독으로 협력해 사용자가 원하는 것을 정확하고 자유롭게 선택할 수 있습니다.

온웨이퍼 테스트 및 통합에 대해 자세히 알아보시겠습니까? 언제든지 당사에 문의해 주십시오.

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